Paddle Cantilevers Silicon Carbide

Bathar mionaideach agus tagradh
Tha feachd luchdachadh mòr wafer silicon carbide SiSiC / SiC cantilever paddle / beam freagarrach airson siostam luchdachadh is làimhseachadh fèin-ghluasadach robot oir tha coileanadh seasmhach aige, neo-deformachadh ann an teòthachd àrd agus feachd luchdachadh wafer mòr. Leis gu bheil an earrann den phleadhag cantilever seasmhach gun deformation, tha e comasach wafer de mheud nas motha a dhèanamh a ’cleachdadh tiùban fùirneis a th’ ann. Faodar plead / beam cantilever silicon carbide feachd luchdachadh wafer mòr a chuir a-steach do LPVCD a rèir an co-èifeachd leudachaidh teirmeach coltach ri còmhdach LPVCD, a tha gu mòr a ’leudachadh a’ chearcall cumail suas agus glanaidh, agus a ’lughdachadh truaillearan gu mòr.

Paramadairean teicnigeach freagairt carbide silicon carbide RBSIC: 

Feartan:
a. Cha bhith e a ’deformachadh aig teòthachd àrd agus tha feachd luchdaidh an wafer mòr;
b. Frith-aghaidh clisgeadh teirmeach sàr-mhath agus beatha seirbheis fhada;
c. Tha co-èifeachd leudachadh teirmeach a ’phleit cantilever gu math beag, a tha gu mòr a’ leudachadh a ’chearcall cumail suas agus glanadh;
agus truaillearan a lughdachadh gu mòr

Àirneis àth eile air a dhèanamh le ceramic silicon carbide 
A bharrachd air pleadhag cantilever silicon carbide SiSiC sintichte airson luchdachadh wafer, bidh sinn cuideachd a ’toirt a-mach àirneis eile a’ toirt a-steach giùlan RBSIC / SISIC silicon carbide, tiùban nozzle, tiùb nozzle shnìomhanach, tiùb nozzle swirl, batan carbide sileacain SIC bannaichte / truinnsear agus pìoban fuarachaidh RBSIC. .

Cuir ort stuthan resistant carbide RBSIC / SISIC
Leis gu bheil na buannachdan aig an toradh RBSIC / SISIC silicon carbide againn an aghaidh caitheamh sàr-mhath, strì an aghaidh creimeadh agus beatha seirbheis fhada, faodar a dhèanamh cuideachd ann an sreathan dìon dìonach a tha furasta a chuir a-steach ann am pìoban giollachd no cyclones.